行业动态

半导体行业使用高效过滤器的原因主要可以归纳为以下几点：

一、保证生产环境的洁净度

1. 过滤微粒和污染物：高效过滤器能够有效过滤掉空气中的尘埃、微生物、花粉等微小颗粒物，确保生产环境的洁净度。在半导体制造过程中，这些微粒和污染物如果附着在晶圆表面，会严重影响产品的质量和性能。

2. 防止交叉污染：半导体生产过程中，不同的工艺步骤和区域对洁净度的要求可能不同。高效过滤器能够在不同区域之间形成有效的隔离，防止交叉污染。

二、保护设备和产品

1. 延长设备使用寿命：长期不更换的高效过滤器会导致设备内部积尘和污染，加速设备的磨损和损坏。定期更换高效过滤器可以保护设备，延长其使用寿命，降低维护成本。

2. 提高产品质量：空气中的微粒和污染物不仅会影响晶圆表面质量，还可能对半导体器件的性能和可靠性造成损害。高效过滤器通过过滤空气中的污染物，确保生产出的半导体器件质量稳定可靠。

三、满足特定工艺需求

1. 薄膜沉积技术：在薄膜沉积工艺中，需要在真空环境下进行，同时通入超纯的反应气体。高效过滤器能够确保这些气体的纯净度，避免杂质对沉积薄膜的影响。

2. 湿法清洗和干法刻蚀：这些工艺对清洗液和刻蚀气体的纯净度要求极高。高效过滤器在特气柜管路传送系统中层层过滤纯化装置，保证特气的纯净度，从而提高芯片良率。

四、提升生产效率

1. 减少生产中断：空气质量问题可能导致生产中断或产品不合格，给企业带来经济损失。高效过滤器通过确保生产环境的洁净度，减少因空气质量问题导致的生产中断，提高生产效率。

2. 保障员工健康：洁净的生产环境也有助于保障员工的健康和安全，减少职业病的发生。

综上所述，半导体行业使用高效过滤器是为了保证生产环境的洁净度、保护设备和产品、满足特定工艺需求以及提升生产效率。这些措施对于半导体行业的可持续发展具有重要意义。